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射频溅射MoS_2、WS固体润滑膜在脂润滑下的摩擦学特性

罗虹 , 刘家浚 , 朱宝亮 , 刘芬

材料研究学报

用球-盘试验机研究了射频溅射MoS2,WS2固体润滑膜在脂润滑下的摩擦学特性,并用XPS,SEM和EDX等方法进行了分析.结果指出,在锂基脂润滑下,表面溅射MOS2薄膜后摩擦系数降低,擦伤载荷成几倍或几十倍增长,尤其在高滑动速度下效果更加明显,可在一定载荷范围内代替2#主轴油进行润滑,摩擦中MOS2膜表层组织很容易剥落,摩擦中与基体结合较牢的主要是表面下的有效膜厚。因而在本试验条件下两种厚度MOS2膜的摩擦学性能基本无差别,溅射WS2膜中含氧量很高,且在整个膜层中均以WO3存在,因此减摩效果不理想。

关键词: MoS_2膜 , WS_2 film , R.F.sputtered , grease , coefficient of friction

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