胡桂林
,
李国能
,
张治国
,
郑友取
工程热物理学报
反应溅射沉积技术(RSDT)可以生成纳米大小的颗粒并有效溅射形成性能稳定的催化层,是一项崭新的催化层制备技术.为从理论上研究RSDT过程的复杂物理化学过程,本文提出了RSDT过程的三维综合数学模型,模型描述了流体流动、热/质传递,并与燃料气的化学反应和液滴的燃烧相耦合.RNGκ-ε模型用于描述湍动燃烧气流,液滴的跟踪和分析在拉格朗日框架下进行,并利用Monte Carlo方法生成了催化层的表面结构.计算结果可以为该技术的优化提供一定的参考.
关键词:
反应溅射沉积技术
,
数值模拟
,
RNGκ-ε模型
,
蒙特卡洛法
,
多组分反应