郭春林
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汪雷
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戴准
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房剑锋
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郑佳毅
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杨德仁
材料科学与工程学报
二氧化硅(SiO2)是制备高效晶体硅太阳电池常用的钝化手段.本文利用快速热氧化(RTO)技术在晶体硅表面制备超薄SiO2层,考察其对硅表面的钝化作用.在100％O2气氛下,900℃RTO处理180s,可以使样品的少子寿命达到146.6μs的最佳值.采用RTO方法制备的SiO2薄膜厚度可以控制在几个纳米范围.通过与等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统沉积的氮化硅(SiNx)薄膜形成叠层钝化膜,可以进一步提高对太阳电池表面的钝化效果.单层SiNx薄膜钝化的样品有效载流子寿命为51.67μs,SiO2/SiNx叠层薄膜钝化的样品有效载流子寿命提高到151.18μs.
关键词:
RTO
,
SiO2薄膜
,
太阳电池
,
钝化
冯王高
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杨林
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李庆华
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曾泳
涂料工业
涂装制造能耗占整车制造能耗的70％以上,降低涂装车间的能耗是降低整车制造能耗的关键.通过对东风乘用车公司武汉工厂涂装车间现生产主要能耗设备进行分析,制定了适用于该车间的余热回收利用方案,包含喷漆室排风循环利用、RTO(回转蓄热式脱臭装置)排风余热回收利用2个方面.设备自2015年9月改造完成以来,运行稳定,实现单台降低能耗成本12.81元,全年降低能耗成本192万元.
关键词:
涂装
,
余热
,
回收
,
喷漆室
,
RTO
