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磁控溅射Ge薄膜的结晶特性研究

高立刚 , 陈刚 , 邓书康 , 陈亮 , 阚家德 , 俞帆 , 杨宇

功能材料

采用直流磁控溅射技术制备了不同衬底温度下的Ge单层膜,XRD分析结果表明,当衬底温度低于350℃时Ge膜为非晶结构,高于400℃时开始结晶.并研究了不同尺寸Ge颗粒的Ramah散射谱特征,与晶体Ge的散射谱相比,观察到纳米Ge颗粒Raman散射谱的峰位红移与峰形宽化现象;并根据Raman谱的红移量计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸,采用声子限域理论较好地解释了实验结果.

关键词: Ge薄膜 , XRD , Raman散射光谱 , 晶粒尺寸 , 声子限域理论

用低温Raman散射光谱研究不同处理的CdZnTe表面

裴慧元 , 方家熊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.025

利用低温Raman散射光谱分析,比较了4种典型处理的Cd0.96Zn0.04Te表面声子散射信号和表面元素沉积的变化.对-220～-90cm-1的反斯托克斯分量进行分析得出,BM液腐蚀后的表面晶格完整性最好;LB液处理有利于进一步改善表面粗糙度和表面漏电流;离子轰击的表面缺陷多,质量差,但对制备良好欧姆接触的电极有现实意义.实验证明Raman散射光谱对于探测表面上元素的沉积和分析表面质量的变化,进而优化表面处理工艺十分有效.

关键词: Cd0.96Zn0.04Te , Raman散射光谱 , 表面处理

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