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磁控溅射制备Ru-B薄膜的研究

殷聪朋 , 管伟明 , 张俊敏 , 刘洪江 , 陈勇 , 张昆华

贵金属

采用射频磁控溅射技术制备了Ru-B薄膜，利用掠入射X射线衍射(GIXRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)等分析技术对薄膜的相结构、沉积速率以及表面形貌进行了研究分析。结果表明：在室温下制备的 Ru-B 薄膜均为非晶态。薄膜的沉积速率不随溅射时间变化，但随溅射功率的增加而...

关键词: 金属材料 , 超硬薄膜 , 磁控溅射 , Ru-B薄膜 , 表面形貌