张新
,
高勇
,
王彩琳
,
邢昆山
,
安涛
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2005.03.015
随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SOI结构材料的兵器微电子技术应用,展望了SOI技术的发展前景.
关键词:
SOI材料技术
,
SOI结构
,
兵器微电子技术
