陈静
,
王湘
,
董业民
,
郑志宏
,
陈猛
,
王曦
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.002
采用无质量分析器的离子注入机,以低能量低剂量注水的方式代替常规SIMOX注氧制备SOI材料.测试结果表明,此技术成功地制备了界面陡峭、平整,表层硅单晶质量好的SOI结构材料.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI结构形成的影响,使用剖面透射电镜技术(XTEM)和二次离子质谱技术(SIMS)等测...
关键词:
低剂量注水
,
注入能量
,
SOI结构
张新
,
高勇
,
王彩琳
,
邢昆山
,
安涛
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2005.03.015
随着集成技术进入亚微米阶段,传统的硅基集成电路由于存在闩锁等不利因素,使其应用受到了限制.而基于SOI材料的微电子技术是能突破硅材料与硅集成电路限制的新技术[1],是国际半导体的前沿技术之一,是发展兵器装备用元器件的又一关键材料技术.介绍了SOI材料结构技术用于微电子器件的优势、SOI结构及基于SO...
关键词:
SOI材料技术
,
SOI结构
,
兵器微电子技术
