朱德峰
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许宝建
,
程建功
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金庆辉
,
赵建龙
,
徐元森
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.012
生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要.石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能.本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征.同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法.
关键词:
QCM
,
SU-8
,
PDMS
,
混合
,
谐振
