尚海鑫
,
褚金奎
,
高佳丽
高分子材料科学与工程
基于COMPASS分子力场,经过分子聚合,能量最小化和退火模拟等构建SU-8光刻胶模型.利用分子动力学的研究方法,模拟研究了SU-8胶的玻璃化转变温度及其主要的影响因素;同时计算了在室温条件下交联SU-8胶的杨氏模量、泊松比、剪切模量、体积模量等力学性能.结果表明,模拟得到的玻璃化转变温度和力学性能...
关键词:
SU-8光刻胶
,
分子动力学
,
玻璃化转变
,
力学性能
尚海鑫
,
褚金奎
,
高佳丽
高分子材料科学与工程
运用分子动力学(MD)的研究方法,经过分子聚合、能量最优化和退火模拟等构建了不同长细比的SU-8光刻胶模型,模拟研究了在室温条件下不同长细比的SU-8胶纳米尺寸模型的弹性模量、泊松比、剪切模量等力学性能参数.结果表明,在室温下,随着SU-8胶模型长细比的增加,材料的扬氏模量和剪切模量逐渐增大,这一现...
关键词:
SU-8光刻胶
,
力学性能
,
分子动力学
,
长细比
文春明
,
尤政
,
温志渝
,
王晓峰
,
陈李
功能材料
为了增大MEMS超级电容器电极结构的表面积,提高MEMS超级电容器的电荷存储能力,研究了利用SU-8胶制备高深宽比三维电极微结构.经过基片清洗、涂胶、前烘、曝光、后烘、显影、坚膜等过程,制备了深宽比为6的微结构.分析讨论了微结构制备过程中基底洁净度和升降温速度及曝光、显影时间等因素对结构制备的影响....
关键词:
三维微结构
,
SU-8光刻胶
,
高深宽比
,
超级电容器
,
MEMS
杜立群
,
郭照沛
,
张晓蕾
高分子材料科学与工程
运用分子动力学模拟软件Materials Studio针对SU-8胶与Ni基底的结合性进行模拟分析,计算了不同前烘温度下SU-8胶与Ni(100)面的结合能,发现在343K的前烘温度下,光刻胶与基底的界面结合能达到最大,说明此时界面结合最好.通过对SU-8胶与Ni基底的相互作用能分析,发现影响结合能...
关键词:
SU-8光刻胶
,
Ni基底
,
结合能
,
分子动力学模拟
