史高飞
,
沈奇雨
,
许徐飞
,
宋洁
,
赵娜
,
韩基挏
,
李乘揆
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153002.0257
在薄膜晶体管液晶显示器件(TFT-LCD)的制作过程中,Mura 是一种常见的不良现象,它可以直接影响到产品的画面品质.本文结合生产工艺的实际情况,采用宏观微观检查设备 Macro/Micro(M/M)、扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束测试仪(FIB)等设备进行检测分析,研究了产品开发过程中出现...
关键词:
TFT-LCD
,
Sand Mura
,
过刻
,
厚度
,
刻蚀时间
