方铭
,
李青会
,
干福熹
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2004.01.001
利用直流磁控反应溅射法在不同氧分压下制备了SbOx薄膜,对退火前后薄膜的X射线衍射(XRD)分析表明,退火后薄膜结构发生了从非晶态向晶态的转变.利用示差扫描量热法(DSC)测出不同升温速度条件下非晶态薄膜粉末的晶化峰温度,用Kissinger公式计算了材料的结晶活化能计算结果表明,随着溅射时氧分压的增加,薄膜的结晶活化能增加,而相应的非晶态与晶态之间的焓差则呈现出相反的变化趋势.
关键词:
无机非金属材料
,
SbOx薄膜
,
反应溅射
,
XRD
,
DSC
,
结晶动力学
