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衬底温度对Sc、ScD2膜的微观结构的影响

吴清英 , 邴文增 , 龙兴贵 , 周晓松 , 刘锦华 , 罗顺忠

稀有金属材料与工程

采用电子束沉积的方法在底衬Mo (Rq≈5～8.63 nm)上制备了厚度为2～3 μm的Sc膜,再将Sc膜在Sievert真空系统中进行吸氘.结果表明:在底衬温度为623,823,1023 K时,Sc膜呈现出柱状结构,且具有(002)的择优生长；随着沉积温度从623 K增大到1023 K,Sc膜的(...

关键词: Sc膜 , 氘化物 , 底衬温度 , 微观结构 , 电子束沉积