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半绝缘Si/SiO2超晶格结构在交流电场下的电致发光特性

张新霞 , 孙甲明 , 张俊杰 , 杨阳 , 刘海旭

材料科学与工程学报

本文研究了SiO2和Si层的厚度分别为2-8nm和1.5-3nm的Si/SiO2超晶格在交流电场下的电致发光特性.以超晶格中SiO2层内加速的过热电子碰撞激发纳米Si层中密集的硅量子点,获得了Si/SiO2超晶格蓝绿色交流电致发光.Si/SiO2超晶格的电致发光亮度随电压升高呈现指数增强,最高发光亮...

关键词: 超晶格 , 电致发光 , Si量子点 , 电子平均自由程

周期性梯度富硅SiNx薄膜的微结构与发光特性

陈小波 , 杨雯 , 段良飞 , 张力元 , 杨培志

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140123

采用磁控共溅射结合快速光热退火技术在单晶硅和石英衬底上制备了含硅量子点的周期性梯度富硅SiNx薄膜(梯度薄膜)和单层富硅SiNx薄膜(单层薄膜).采用Raman光谱、掠入射X射线衍射(GIXRD)、透射电子显微镜(TEM)、傅里叶变换红外(FTIR)光谱和光致发光(PL)光谱分析了薄膜的结构特性、键...

关键词: Si量子点 , 氮化硅薄膜 , 快速光热退火 , 光致发光

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