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聚氮硅烷气相裂解反应制备Si-C-N复合纳米微粉的组成与结构

唐耿平 , 张长瑞 , 冯坚 , 周新贵

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.02.005

采用低分子聚氮硅烷气相裂解反应工艺,制备了Si-C-N复合纳米微粉.通过XRD、XPS、TEM、HREM等方法,对Si-C-N纳米微粉的组成与结构进行了分析.结果表明:Si-C-N纳米微粉为无定形结构,局部有短程有序态存在.随裂解气氛的不同,Si、C、N元素的相对含量及存在状态也不同.

关键词: Si-C-N , 纳米微粉 , 结构