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CVI制备Si₃N₄p/Si₃N₄透波材料表征与性能

刘谊 , 刘永胜 , 张立同 , 成来飞 , 徐永东

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00979

以SiCl₄-NH₃-H₂为反应体系, 采用化学气相渗透(CVI)法制备Si₃N₄p/Si₃N₄透波材料. XRF测试表明试样主要含Si、N、O三种元素. XRD测试表明复合材料主要成分为α-Si₃N₄和非晶沉积物和非晶SiO₂, 并有微量的β-Si₃N₄和晶体Si, 高温热处理可使非晶沉积物转变为α-Si₃N₄和β-Si₃N₄. SEM照片显示颗粒团间结合不够致密, 残留气孔偏大. 试样的弯曲强度最高为94MPa, 介电常数为4.1～4.8.

关键词: Si3N 4p/Si3N4透波材料 , null , null , null