张通
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张宁
,
杨非易
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阚洪敏
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王晓阳
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龙海波
硅酸盐通报
本文以SiCN、SiCNAl和SiBCN多元非晶态陶瓷为例,总结了非晶态陶瓷当前发展现状和应用不同方法合成陶瓷的工艺,比较了各种方法的优缺点和制备时影响材料质量的因素,并对今后的发展趋势进行了展望,对多元非晶态陶瓷的进一步研究具有一定的指导作用.
关键词:
多元非晶态陶瓷
,
SiCN
,
SiCNAl
,
SiBCN
程文娟
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张阳
,
江锦春
,
朱鹤孙
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.008
本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列.样品的形貌由场发射扫描电子显微镜(SEM)表征分析.用X射线光电子谱(XPS)、Raman散射谱及X射线衍射(XRD)对样品的键合状态及结构进行表征,结果表明,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物.
关键词:
SiCN
,
微米棒
,
微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)