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SiH4射频放电功率耗散机制的光发射研究

石旺舟 , 黄翀 , 姚若河 , 林揆训 , 林璇英

功能材料

采用OMA-4000测量了SiH4射频辉光放电等离子体的光发射谱,研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系.发现在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中,其等离子体状态分别发生性质不同的转变,这种转变联系到射频功率耗散机制的变化.当反应气体流量增加时,电子获得能量的机制由阴极暗区...

关键词: SiH , 射频辉光放电 , 功率耗散 , 光发射谱