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李凌智 , 张敏 , 张瑾 , 柳清菊
功能材料
SiO2介孔薄膜具有优良的绝热性能,在热学、光学、微电子等领域有广阔的应用前景,其介孔结构对降低薄膜的热导率有着十分重要的作用,对介孔薄膜热导率的计算模型及测量方法的研究仍在不断探索中.对SiO2介孔膜的隔热机理进行了概述,从理论方面综述了对热导率研究的一些基本方法,并对薄膜热传导的尺寸效应作了说明.
关键词: SiO2介孔薄膜 , 隔热 , 微尺度传热 , 热导率
