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SiO2薄膜的微观结构与驻极体特性的相关性研究?

郝天亮 , 陈钢进

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.22.019

Si O 2驻极体具有优异的电荷储存能力，其具有器件制作工艺可与微机械加工技术兼容、适合集成化生产等优点，一直是微器件和传感器领域研究的热点。采用电晕充电和表面电位测试等技术研究了等离子增强化学气相沉积(PECVD)和电子束蒸发两种方法制备的SiO2薄膜的驻极体特性，发现 PECVD方法制备的Si ...

关键词: 驻极体 , SiO2 薄膜 , 微观结构 , PECVD , 电子束蒸发

溶胶凝胶法制备WS2-SiO2可饱和吸收体的探究

林涛 , 孙航 , 李晶晶 , 张天杰 , 郭恩民 , 孙锐娟 , 王茜 , 李璐 , 王勇刚 , 段玉鹏

人工晶体学报

WS2二维材料独特的光吸收体特性使其成为可饱和吸收体的优选材料。溶胶凝胶法具有操作方便、设备简单、成本低廉等优点。利用溶胶凝胶法在石英基片上制备SiO2材料为主体的WS2-SiO2薄膜是一种实现可饱和吸收体的新思路。本文通过改变实验过程中原料配比、热处理条件、旋涂速度等实验参数确定出溶胶凝胶法制备S...

关键词: 溶胶凝胶法 , WS2 , 可饱和吸收体 , SiO2 薄膜

出版年份

• 2017年1篇
• 2014年1篇

刊物分类

• 功能材料1篇
• 人工晶体学报1篇

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