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任爱光 , 任晓敏 , 王琦 , 熊德平 , 黄辉 , 黄永清
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.05.007
本文运用了有限体积方法模拟了低压有机金属化学气相外延生长室的二维流场和热场的分布情况,分析了生长室内压力和基座转速对于流场和热场影响,指出了低压金属有机化学气相外延的优点所在.
关键词: 有机金属化学气相外延 , Simple算法 , 旋转垂直腔
