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SOI技术的新进展

林成鲁

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.001

通过对最近两次SOI国际会议的分析，综述了SOI技术取得的新进展。三种SOI技术SIMOX，Smart－cut和BESOI已走向商业化,在高温与辐射环境下工作的SOI电路也走向了市场。近来人们更加重视SOI技术，是因为SOI在实现低压、低功耗电路上的突出优越性。

关键词: SOI , SIMOX , Smart－cut , 低压低功耗电路