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SnO2∶Sb/SiO2复合薄膜的制备与光学性能

王贺 , 魏长平 , 彭春佳 , 程果 , 李丛昱

硅酸盐通报

采用溶胶-凝胶结合旋涂技术在玻璃基底上制备了SnO2∶Sb/SiO2复合薄膜,利用XRD、FT-IR、SEM、椭偏仪、分光光度计等方法对薄膜样品进行了系统地表征.结果表明:经过热处理后样品生成了SnO2∶Sb和SiO2∶薄膜具有双层结构,上层SiO2厚度约105nm,折射率为1.352,底层SnO2...

关键词: 溶胶-凝胶 , SnO2∶Sb , SiO2 , 复合薄膜 , 透过率