材料期刊网，材料期刊，材料类期刊，材料期刊投稿

采用反应磁控溅射法制备SnO2薄膜经常出现化学计量比的失衡问题.通过控制溅射过程中的氧分压制备不同化学计量比的SnO2-x薄膜,研究非化学计量比对薄膜结构、成分以及气敏性能的影响.XRD结果表明氧分压对材料结构和取向的影响非常显著.薄膜的O/Sn和表面化学成分通过XPS进行确定,分析发现氧分压的增加...

关键词: SnO2薄膜 , 氧分压 , 非化学计量比 , 反应磁控溅射

稀土Dy掺杂纳米SnO2薄膜的结构与气敏特性

闫君 , 李健 , 汪良

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.002

采用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土Dy掺杂Sn薄膜,对薄膜进行合适的氧化、热处理后获得Dy掺杂SnO2薄膜.用X射线衍射、场发射扫描电子显微镜、静态配气法对薄膜性能进行测试,研究不同掺Dy含量和热处理条件对SnO2薄膜的影响.结果显示,制备的SnO2薄膜呈金红石结构为n型;在相同热处理条件下,Dy掺...

关键词: 真空蒸发 , SnO2薄膜 , Dy掺杂 , 气敏特性

用激光烧结法制备的SnO2薄膜的气敏性质

孙克 , 赵岩 , 沈文锋 , 张彩碚

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.02.012

用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜,研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响.TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径...

关键词: 无机非金属材料 , SnO2薄膜 , 激光烧结 , 灵敏度 , 气敏特性 , 丙酮

反应磁控溅射制备SnO2薄膜及其微观形貌与光致发光性能研究

姚宏燚 , 袁志钟 , 熊志高 , 翟艺璇 , 李东升

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.18.001

利用反应磁控溅射法(RMS)制备了SnO2薄膜,并研究了溅射参数对薄膜微观结构和光学性能的影响.结果表明,随着溅射气压、氧分压的增大和衬底温度的升高,薄膜沉积速率相应减小;在不同衬底温度下(室温至600℃)溅射薄膜时,较高的衬底温度可得到较大的SnO2晶粒,表面更为粗糙;此外,将原生SnO2薄膜在O...

关键词: SnO2薄膜 , 反应磁控溅射 , 光致发光 , 光学禁带

氨处理溶胶—凝胶SnO2薄膜特性研究

刘小林 , 梁培辉 , 张伟清

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2001.02.001

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备SnO2薄膜，通过对薄膜的不同处理方式(热处理、氨处理和未处理)所获得的SnO2薄膜的比较，研究了氨处理SnO2薄膜的结构、抗机械损坏能力、光学及电学特性。实验结果表明氨处理溶胶-凝胶SnO2薄膜不仅具有较好的抗机械损坏能力，同时也具有良好的光学和电学性能。

关键词: SnO2薄膜 , 溶胶-凝胶工艺 , 氨处理

二元掺杂对SnO2薄膜的结构与光学性能的影响

徐游 , 李风 , 曾国勋

人工晶体学报

采用超声雾化热解法在石英玻璃基底上制备了SnO2/Sb:Ni薄膜,并对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征.结果表明:薄膜晶粒生长致密,晶粒大小均匀,呈柱状晶结构,(200)晶面是优势生长面.经过二元掺杂后,薄膜的平均可见光透过率最高为87.54％；波长为300 nm时,薄膜的紫外透过率约为...

关键词: SnO2薄膜 , 透过率 , 超声雾化热解法

二步热氧化法制备SnO2薄膜的特性

李栋宇 , 刘贵昂 , 潘喜诚 , 邵乐喜

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.011

氧化温度有很大的联系.通过UV-VIS透过光谱得知随着氧化温度的升高,SnO2薄膜的光透过率也升高,光学禁带宽度也随着氧化温度的升高而升高.这种制备SnO2薄膜的工艺具有适于大面积制造,低成本,过程容易控制等很多优点.

关键词: SnO2薄膜 , 热氧化法 , 蒸发

Sol-Gel法制备低阻SnO2薄膜

李爱武 , 全宝富 , 刘凤敏 , 陈丽华

功能材料

采用sol-gel法制备了SnO2薄膜.研究了不同的实验条件对薄膜阻值的影响.利用XRD、XPS分析了薄膜的晶体结构和晶粒尺寸.利用这种低阻SnO2薄膜制作的热线型气敏元件对H2S具有较好的气敏特性.

关键词: sol-gel法 , SnO2薄膜 , 气敏特性

SnO2纳米薄膜的制备、显微结构及气敏性能

赵杰 , 赵经贵 , 高山 , 霍丽华 , 王海水 , 席时权

应用化学 doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.02.004

以SnCl2·2H2O和无水乙醇为原料,采用溶胶-凝胶方法制备了SnO2透明溶胶,通过浸渍提拉技术制备了SnO2纳米薄膜;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌.结果表明,SnO2纳米薄膜的球形粒径约5 nm;随着薄膜沉积层数的增加,其电子光谱的吸收呈线性增加,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定...

关键词: SnO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 气敏性能