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TiO₂/SiO₂复合薄膜的晶化特征和结构转变研究

翟继卫 , 张良莹 , 姚熹

无机材料学报

对TiO₂／SiO₂复合薄膜的晶化特征进行了分析，研究表明，随着TiO₂含量的增加，其晶化温度降低，而由锐钛矿相完全转变为金红石相的速度减慢．SiO₂的析晶温度也随着TiO₂含量的增加而降低，即TiO₂具有诱导SiO₂2析晶的作用．锐钛矿晶粒尺寸的增加幅度随着TiO₂含量的降低和热处理温度的升高而增大．其晶粒尺寸的大小与热处理时间的平方根成正比．认为由于TiO₂含量的不同，造成薄膜中由锐钛矿相完全转变成金红石相的速度差异主要来自于薄膜中应力的作用．

关键词: 溶胶-凝胶 , null , null , null