郭冬云
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毛薇
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秦岩
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黄志雄
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王传彬
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沈强
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张联盟
材料导报
利用Sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Pb(Zr0.53Ti0.47)O3(PZT)薄膜,研究了退火温度、保温时间和薄膜厚度对其晶相、微观结构和铁电性能的影响.在500℃退火处理的PZT薄膜开始形成钙钛矿相;在550℃退火处理的PZT薄膜基本形成钙钛矿相结构;升高退火温度(5...
关键词:
Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜
,
Sol-gel工艺
,
退火温度
,
保温时间
,
薄膜厚度
,
铁电性能
