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钙钛矿型氧化物SrTiO3/BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究

姚海军 , 李燕 , 罗佳慧 , 姜斌 , 邓宏 , 蒋书文

功能材料

用激光分子束外延技术在SrTiO3(001)衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜,通过反射式高能电子衍射(RHEED)原位实时监测并结合原子力显微镜(AFM),研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度,利用X射线衍射(XRD)对外延薄膜进行了结构分析,结果表明薄膜具有二维生长模式,在基片...

关键词: 激光分子束外延 , SrTiO3/BaTiO3 , 多层膜 , 反射式高能电子衍射 , 原子力显微镜