刘雪婷
,
何崇斌
,
薛异荣
,
焦龙龙
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.增刊(Ⅰ).024
利用溶胶-凝胶法在Al2O3陶瓷片上制备掺Mg的SrTiO3薄膜.在SrTiO3中掺杂不同含量的Mg离子,Mg在钛酸锶中取代钛位,形成受主掺杂.研究了掺杂对薄膜电阻率的影响,实验表明,当掺杂浓度为4％时,电阻率最小.当掺杂浓度为4％时,薄膜电阻率会随着光功率变化而变化,当光功率＜100W时,电阻迅速...
关键词:
溶胶-凝胶
,
SrTiO3薄膜
,
Mg掺杂
,
电阻率
黄文
,
孙小峰
,
蒋书文
,
张鹰
,
李言荣
功能材料
用激光脉冲沉积技术(PLD),以N型(100)Si为基底在300℃下制备100nm非晶STO薄膜,分别用常规退火(CFA),快速退火(RTA)以及激光诱导晶化(LIC)处理将其转化多晶薄膜,用XRD测定薄膜相组分和结晶质量,用AFM观测薄膜表面微结构.比较不同工艺退火对薄膜结晶品质的影响并阐述了各自...
关键词:
SrTiO3薄膜
,
退火处理
,
界面形态
,
晶化
刘翠华
,
刘贤珍
,
付永
材料热处理学报
doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.02.006
在Si(111)基片上采用脉冲激光沉积(PLD)方法,烘烤温度300℃,制备得到非晶态SrTiO3薄膜.采用快速晶化处理,将非晶态SrTiO3薄膜在不同温度、不同晶化处理时间下进行了晶化处理,采用GIXRD和AFM分析检验晶化的效果和表面形貌.结果表明,SrTiO3晶化程度强烈依赖处理温度,处理温度...
关键词:
晶化
,
快速晶化处理
,
结构特征
,
SrTiO3薄膜
何世明
,
李言荣
,
刘兴钊
,
陶伯万
,
段滨
功能材料
采用脉冲激光沉积法(PLD)制备的Y1B2Cu3O7-x薄膜作为叉指底电极,然后生长SrTiO3介质薄膜,形成叉指型压控电容结构.通过对SrTiO3薄膜的原位生长温度与薄膜微观结构及非线性介电性能之间的关系研究,发现随生长温度的升高薄膜晶粒逐步增大然后变小,薄膜的介电常数可调率和本征介电损耗随晶粒大...
关键词:
SrTiO3薄膜
,
介电性能
,
叉指电容
,
非线性
肖田
,
林明通
,
徐毅
,
陈晨曦
,
陈国荣
,
杨云霞
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.02.005
用rf和反应磁控溅射法成功制备了一种总厚度为530～730nm的SrTiO3/Ta2O5复合介电层,获得在500Hz下介电常数为48～73,反映介电损耗的参数ΔVy在0.06～0.15V之间,击穿场强为106～139MV/m,在0.05V/nm的电场下正、反向漏电流在10-9～10-7A/cm2之间...
关键词:
无机EL
,
SrTiO3薄膜
,
Ta2O5薄膜
,
SrTiO3/Ta2O5复合膜
张亦文
,
李效民
,
赵俊亮
,
于伟东
,
高相东
,
吴峰
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.03.022
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrInxTi1-xO3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能,表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致薄膜结晶度降低,通过引入本...
关键词:
脉冲激光沉积法
,
SrTiO3薄膜
,
缓冲层
,
结晶度
刘剑
,
郝斌
,
董秀珍
,
李悦
,
王伟志
硅酸盐通报
拥有众多优良性能的SrTiO3薄膜已经受到了人们的广泛关注.本文首先对SrTiO3薄膜的性质和应用进行了简单介绍,然后从物理和化学两大类方法着重对其现有制备技术及研究进展进行了全面的综述,文章最后对SrTiO3薄膜的制备及器件研究领域进行了展望.
关键词:
SrTiO3薄膜
,
制备
,
进展
