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溶胶-凝胶法制备YBa2Cu3O7-x超导薄膜的研究

陈源清 , 赵高扬 , 薛人中 , 严复学 , 李颖

功能材料

传统的TFA-MOD法制备YBa2Cu3O7-x薄膜,采用Y、Ba、Cu 3种金属的三氟醋酸盐(TFA)为先驱体,在热分解时,会产生大量的HF气体,即使通过将近20h的缓慢升温过程来对薄膜进行热分解,也难以获得较为光洁的表面,从而无法实现厚膜的制备.本文提出了一种新的含氟溶胶-凝胶工艺,通过减少溶胶...

关键词: YBa2Cu3O7-x , TFA , 薄膜