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低温热处理对TFA-MOD技术制备YBCO超导薄膜的影响

张云 , 张国防 , 金利华 , 王耀 , 于泽铭 , 李成山 , 卢亚锋

材料导报

采用三氟乙酸盐-金属有机沉积(TFA-MOD)技术在LaAlO3(001)单晶衬底上沉积YBa2Cu3O7-χ(YB-CO)导薄膜,研究了低温热处理条件(涂覆环境相对湿度和升温速度)对前驱膜形貌和YBCO超导膜的影响.从金相显微镜(OM)和扫描电镜(SEM)观察可以看出,高涂覆环境相对湿度是引起前驱...

关键词: YBCO超导薄膜 , TFA-MOD技术 , 涂覆环境相对湿度 , 升温速度