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检索条件：关键词=TGZO薄膜
史晓菲 , 郭美霞 , 刘汉法 , 王新峰
人工晶体学报
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了高质量的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜.研究了溅射功率对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明:溅射功率对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响.X射线衍射分析表明,TGZO 薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.在溅...
关键词: TGZO薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射功率 , 磁控溅射
史晓菲 , 郭美霞 , 刘汉法 , 高金霞
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112601.0054
利用直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出了透过率高、电阻率较低的钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜(TGZO).研究了溅射压强对TGZO薄膜结构、形貌和光电性能的影响.研究结果表明,溅射压强对TGZO薄膜的结构和电阻率有重要影响.X射线衍射(XRD)表明,TGZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄...
关键词: TGZO薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射压强 , 磁控溅射
