材料期刊网

TaMoN复合膜的微结构、力学性能与摩擦性能

许俊华 , 薛雅平 , 曹峻 , 喻利花

稀有金属材料与工程

采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫描电子显微镜及其配套的能谱仪研究复合膜的相组成、力学性能、室温和高温下的摩擦性能.结果表明,TaMoN复合膜的微结构是由面心立方、密排六方与底心斜方组成的多相结构;TaM...

关键词: TaMoN复合膜 , 磁控溅射 , 微结构 , 力学性能 , 摩擦性能