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TaN薄膜局部腐蚀早期过程的ECAFM原位研究

俞春福 , 徐久军 , 黑祖昆

腐蚀与防护 doi:10.3969/j.issn.1005-748X.2004.03.005

电化学原子力显微镜(ECAFM)可以在液体环境下工作,能原位观察电极反应过程中的腐蚀界面形貌.文章介绍利用ECAFM从纳米空间分辨度上原位研究离子束增强沉积TaN膜在0.4mol/L HCl溶液中的局部腐蚀早期过程,结果发现,表面形貌为颗粒状结构的TaN膜在0.4mol/L HCl中进行阳极极化时,颗粒结构的微观顶峰优先溶解,导致颗粒高度降低,边界扩大蔓延,使膜层表面趋于平整化.

关键词: 电化学原子力显微镜 , TaN , 原位 , 腐蚀

不同工艺对TaN薄膜摩擦磨损性能影响研究

刘星 , 马国佳 , 孙刚 , 段玉平 , 刘顺华

稀有金属材料与工程

采用微波增强的反应磁控溅射和离子注入法以及两者相结合的工艺制备了TaN系薄膜.通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜的晶体结构,用微磨损仪和白光轮廓仪对样品的摩擦系数和磨损情况进行了检测和分析.结果表明,Ta离子注入与TaN沉积相结合的方式制备的薄膜耐磨损性能较好,其中Ta离子注入后沉积的Ta/TaN多层膜耐磨性能最好.说明此种工艺有效整合了两种工艺的优点,有利于薄膜力学性能的改善.

关键词: 反应磁控溅射 , 离子注入 , TaN , 磨损性能

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/31/11/116001

关键词:

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/35/10/106002

关键词:

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/35/9/096001

关键词: