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V含量对TaVN复合膜微结构、力学性能和摩擦性能的影响

许俊华 , 薛雅平 , 曹峻 , 喻利花

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.12498

采用磁控溅射仪制备了一系列不同V含量的TaVN复合膜,利用X射线衍射仪研究复合膜以及磨痕的相组成,利用纳米压痕仪表征复合膜的硬度,采用高温摩擦磨损实验机研究了复合膜的室温和高温摩擦性能.结果表明:TaVN复合膜的微结构为面心立方结构,随着V含量的增加,衍射峰择优取向由(200)转变为(111);Ta...

关键词: TaVN复合膜 , 磁控溅射 , 力学性能 , 摩擦性能