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吴冲若 , 刘刚 , 林海安 , 邱洁真
材料研究学报
用磁控溅射法制备了T0a2O5薄膜,再用C-V法和JFET外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度.实验发现,在纯氧中沉积的厚200nmT2O5薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性.
关键词: Ta_2O_5薄膜 , ion sensitive , membrane electrode , stability
