万红
,
斯永敏
,
谢海涛
,
黄锐
金属功能材料
doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2001.03.004
本文采用磁控溅射镀膜技术，制备NdFeB、TbFe单层及TbFe/NdFeB复合薄膜。通过设计正交试验，优化溅射工艺参数。采用振动样品磁强仪、X射线衍射仪对不同热处理温度处理的NdFeB薄膜的磁学性能、晶体结构进行了研究，并采用电容位移测量法对TbFe薄膜和TbFe/NdFeB复合薄膜的磁致伸缩系数进行测量。研究结果表明，NdFeB薄膜和TbFe薄膜为面内易磁化方向，在低于400℃温度下真空热处理，薄膜保持非晶态，显现较好的软磁性能。与TbFe薄膜复合，可以大大降低薄膜的矫顽力，其低场磁致伸缩性能优于TbFe单层薄膜，这为提高TbFe薄膜的低场磁致伸缩性能的研究提供了一条新途径。
关键词:
磁控溅射
,
NdFeB薄膜
,
TbFe薄膜
,
超磁致伸缩
张雪峰
,
蒋洪川
,
李会容
,
杨绍利
材料导报
对TbFe巨磁致伸缩薄膜材料的研究进展进行了综述.主要对TbFe巨磁致伸缩薄膜材料的应用前景和提高TbFe巨磁致伸缩薄膜材料的低场磁致伸缩性能的方法进行了总结,指出了TbFe磁致伸缩薄膜研究中存在的主要问题,并对未来的研究方向进行了展望.
关键词:
巨磁致伸缩
,
TbFe薄膜
,
低场灵敏度
,
研究进展
陈琨
,
王志红
,
张金平
,
周宇
功能材料
磁力显微镜(MFM)作为研究表面磁结构的有力工具广泛地应用于磁性薄膜的研究中.TbFe磁致伸缩薄膜在实际应用中要求易磁化轴平行于膜面,以具有较低的面内饱和场Hs,传统的成膜技术难以实现这一目标,采用倾斜溅射方法制备TbFe薄膜可有效降低面内饱和场Hs.通过测量样品的磁滞回线可以发现,易磁化轴随着溅射角度的增加逐渐偏离样品的法线方向,而取向于平行膜面.本研究工作利用MFM研究了不同溅射角度得到的TbFe薄膜的磁畴结构.发现薄膜的磁畴结构随着溅射角度的增加逐渐由垂直畴转化为水平畴,与磁滞回线测量得到的易轴方向发生偏转的结果相吻合.
关键词:
磁力显微镜
,
TbFe薄膜
,
倾斜溅射
