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Si基GaN上的欧姆接触

赵作明 , 江若琏 , 陈鹏 , 席冬娟 , 沈波 , 郑有炓

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.032

研究了Si基GaN上的欧姆接触.对在不同的合金化条件下铝(Al)和钛铝铂金(Ti/Al/Pt/Au)接触在不同的合金化条件下的性质作了详尽的分析.Al/GaN在450℃氮气气氛退火3min取得最好的欧姆接触率7.5×10-3Ω.cm2,而Ti/Al/Pt/Au/GaN接触在650℃氮气气氛退火20s...

关键词: Si基GaN , 欧姆接触 , Al , Ti/Al/Pt/Au