王建军
,
粕壁善隆
,
刘春明
材料与冶金学报
建立不同类型的原子团簇模型,利用电荷自洽离散变分法计算了Ti薄膜中不同晶体结构的原子间化学键键能,分析了薄膜中晶体的局域态密度和全态密度,探讨了其电子结构和Ti-N原子间的交互作用变化.结果表明,N原子占据八面体间隙中心位置后,强Ti-N键的形成和原有Ti-Ti键的弱化,促使hcp-Ti中(00·1...
关键词:
氮化
,
Ti薄膜
,
原子团簇
,
电荷自洽离散变分法
,
电子结构
,
杂化轨道
吴清英
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陈小龙
,
孙灵光
,
罗顺忠
,
朱建国
功能材料
利用三维动态蒙特卡洛模型模拟了Si基底上沉积Ti薄膜的初始期间的生长特性.模拟结果发现,在扩散截止步长为50的情况下,沉积温度和沉积速率对Ti薄膜初始生长模式和表面形貌有明显的影响.模拟结果表明,随着沉积温度的增加,Ti薄膜的初始晶核尺寸越来越大,数目越来越少,趋于岛状生长模式,同时Ti薄膜的相对密...
关键词:
Ti薄膜
,
蒙特卡洛
,
模拟
,
表面形貌
周媛
,
李晓红
,
毛唯
,
毕晓昉
,
熊华平
,
吴欣
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2010.z1.072
以磁控溅射的Ti薄膜作为中间层可在较低温发下实现钛合金的扩散焊.研究了工作气压和溅射功率两个主要工艺参数对Ti薄膜沉积速率、成膜质量的影响规律.在Ar气压为0.8Pa,溅射功率为38W的条件下在TC4试祥表面沉积了厚约1μm的Ti薄膜,采用感应加热方式将其分别快速加热至600℃,800℃,900℃和...
关键词:
Ti薄膜
,
扩散焊
,
钛合金
