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离子束溅射法制备Ti-Ni贮氢薄膜的研究

张允什 , 胡伟康 , 王达 , 袁华堂 , 陈友孝

金属学报

介绍了用离子束溅射制备贮氢薄膜的方法。采用钛板与镍板拼合靶制备的Ti—Ni薄膜为非晶态,具有良好的附着力和抗粉化能力,而晶化后的贮氢性能更好。

关键词: 溅射 , hydrogen storage , Ti-Ni alloy film