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TiAlN/Ti多元复合涂层的界面结构

熊仁章 , 夏立芳 , 白羽 , 雷廷权

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.02.013

利用多弧离子镀方法,在HSS钢基体上沉积了TiA lN/Ti多元复合涂层,通过AES、XTEM以及EDS等手段,研究了涂层的界面结构.结果表明,在 TiAlN-Ti界面、Ti-HSS界面分别存在Ti2AlN和FeTi界面相,Ti2AlN是在涂镀过程中直接沉积而来,而FeTi界面相则是通过扩散作用生成的,它的基体中的M有一定的位相关系.

关键词: 多弧离子镀 , TiAlN多元复合涂层 , 界面结构

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