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氮离子束轰击对电弧离子镀已沉积的TiAlN膜层性能影响的研究

吕树国 , 刘常升 , 张罡 , 毕监智 , 金光 , 李玉海

钢铁研究学报

采用俄罗斯UVN 0.5D2I离子束辅助电弧离子镀沉积设备,利用N离子束轰击高速钢W18Cr4V基材上电弧离子镀已沉积完毕的TiAlN膜层.研究了不同能量的N离子束轰击对TiAlN膜层表面形貌、显微硬度和相结构的影响.SEM分析表明:TiAlN膜层表面"大颗粒"消失,凹坑浅而平整,粗糙度降低.X射线衍射分析表明:无N离子轰击时,TiAlN膜层是由TiAlN相和Ti_2 AlN相组成;随着轰击能量的增加,TiAlN膜层的相结构没有发生变化,但TiAlN(111)取向减弱,而(200)和(220)取向均增强;Ti_2AlN(211)取向减弱.力学性能测试表明:N离子束轰击,使膜层的显微硬度由原来的2 100HV0.01提高到2 300HV0.01.

关键词: 离子束 , TiAlN膜层 , 电弧离子镀 , 显微硬度

硬质合金基体微织构对TiAlN涂层摩擦性能的影响

冯爱新 , 何叶 , 杨润 , 薛伟 , 曹宇鹏 , 李峰平 , 田良 , 谢华锟 , 陈云

材料热处理学报

采用光纤激光在硬质合金表面进行了激光微织构工艺(不同微凹坑直径、深度及织构密度),利用PVD法对微织构后的硬质合金表面进行TiAlN涂层沉积.在不同速度下(0.02 m/s和0.04 m/s)进行了摩擦磨损实验,对比分析了不同织构的摩擦系数,利用扫描电镜研究了表面磨损形貌,电子天平测量磨损量,并进行了磨损机理分析.结果表明,基体微织构后涂层表面的摩擦系数比基体无织构的摩擦系数稳定,微织构直径对基体涂层的摩擦磨损性能影响较大.基体微织构后的涂层具有较好的减摩效果.

关键词: 硬质合金 , 激光微织构 , TiAlN涂层 , 摩擦学性能

TC4钛合金表面磁控溅射 TiAlN 涂层的组织与性能

潘晓龙 , 刘啸锋 , 王少鹏

钛工业进展

采用TiAl合金靶材,在TC4钛合金基材表面以不同磁控溅射工艺沉积制备了TiAlN涂层。利用扫描电子显微镜( SEM)、能谱仪( EDS)、 X射线衍射仪( XRD)分别分析了不同工艺制备的TiAlN涂层的表面形貌、表面成分及相结构,并对TiAlN涂层的耐蚀性、耐磨性等进行了研究。结果表明,采用磁控溅射工艺可在TC4钛合金表面制备出表面相对平整且结构致密的TiAlN涂层;沉积了TiAlN涂层的TC4钛合金试样的表面性能得到了提高,其磨损失重量和TC4钛合金基材相比降低了80%,耐盐雾腐蚀性能达到了保护级9级。

关键词: TC4钛合金 , TiAlN涂层 , 磁控溅射 , 耐蚀性 , 耐磨性

强流脉冲电子束能量密度对TiAlN涂层微观组织和硬度的影响

芦馨 , 金光 , 高景龙 , 吕逍 , 娄长胜 , 王强

稀有金属 doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2016.05.008

采用不同能量密度的电子束对硬质合金刀具TiAlN涂层进行轰击处理,研究了电子束能量密度对TiAlN涂层表面改性后的微观组织和硬度的影响.利用扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)、X射线衍射仪(XRD)分别对TiAlN涂层进行表面形貌观察、元素分析和物相分析,并对涂层表面进行粗糙度和显微硬度测试.结果表明,随着能量密度的增加,涂层表面更趋于致密.在相同的能量密度1.75 J·cm-2下,采用相对较低的阴极加速电压7kV和较高电流强度130 A轰击时,涂层表面粗糙度最低达0.15μm.经电子束轰击后的TiAlN相衍射峰相对强度有所提高;涂层相衍射峰不同程度地向高角度偏移,并且同样能量密度条件下加速电压越高,偏移角度越大;同时涂层相衍射峰有一定宽化趋势.表明电子束轰击后TiAlN涂层产生较大的压应力和热应力,使晶粒细化,并且在一定的热应力驱动下有利于原子扩散,形成较宽的过渡层,从而提高涂层和基体间结合力.显微硬度随着能量密度的增加呈上升趋势,而相同的能量密度条件,加速电压的提高有助于涂层表面硬化.

关键词: 电子束 , 能量密度 , TiAlN涂层 , 粗糙度 , 显微硬度

加入10%Si 对阴极电弧蒸镀 TiAlSiN 涂层的影响

朱丽慧 , 宋诚 , 倪旺阳 , 刘一雄

中国有色金属学报(英文版) doi:10.1016/S1003-6326(16)64273-5

研究加入10% Si(摩尔分数)对 TiAlSiN 涂层的影响。采用阴极电弧蒸镀在 WC?Co 基体上沉积 Ti0.5Al0.5N、Ti0.5Al0.4Si0.1N 和 Ti0.55Al0.35Si0.1N 涂层,通过 X 射线衍射(XRD)、 X 射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、纳米压痕测量和划痕试验研究涂层的显微组织和力学性能,探讨 Si 对涂层的性能和结合失效模式的影响机理。结果表明:加入10% Si 后,涂层中形成非晶 Si3N4包覆(Ti,Al,Si)N 纳米晶的纳米复合结构。TiAlSiN 涂层的硬度和韧性升高,但结合强度下降。与 Ti0.55Al0.35Si0.1N 涂层相比, Ti0.5Al0.4Si0.1N 涂层的硬度较高但韧性较低。TiAlN 涂层由于韧性低、界面结合强,因此结合失效模式以楔形剥落为主。TiAlSiN 涂层由于韧性改善、但界面结合变差,因此结合失效模式以屈曲剥落为主。

关键词: TiAlSiN涂层 , TiAlN涂层 , 阴极电弧蒸镀 , 结合强度

Al含量对TiAlN涂层结合强度的影响

朱丽慧 , 胡涛 , 彭笑 , 倪旺阳 , 刘一雄

材料热处理学报

采用阴极电弧蒸发工艺在WC-6Co硬质合金表面制备Ti0.5Al0.5N、Ti0.45Al0.55N和Ti0.4Al0.6N涂层,采用声发射划痕仪测定涂层的结合强度.研究了Al含量对TiAlN涂层结合强度的影响及机理,并分析了TiAlN涂层的失效模式.结果表明,随Al含量增加,Til-xAlxN(x =0.5 ~0.6)涂层结合强度下降.TiAlN涂层结合强度受涂层残余应力与膜基硬度差的影响.Ti0.5Al0.5N涂层残余应力较小,且膜基差异性最小,结合强度最高.Ti0.5Al0.5N和Ti0.45Al0.55N涂层均为楔形剥落,Ti0.4Al0.6N涂层则为屈曲剥落.Al含量增加降低TiAlN涂层结合力,但有利于改善涂层韧性.Ti0.4 Al0.6N涂层因含少量较软的h-AlN相,其韧性明显提高.

关键词: TiAlN涂层 , 结合强度 , 失效模式

划痕法测定TiAlN涂层结合强度的研究

黄珂 , 杨伏良 , 陈力学 , 马凯 , 郭磊

表面技术

采用磁控溅射法在不锈钢表面制备了TiAlN涂层,采用压入法及划痕法表征了涂层的结合强度.分析表明,压入法只能作为一种定性的测定方法,该法测得TiAlN涂层的结合强度达到HF3.划痕法结合了声信号、摩擦力信号和划痕微观形貌,可以定量测定结合强度,该法测得在压头曲率半径为200μm的情况下,TiAlN涂层的临界载荷达到13 N,比传统TiN涂层提高了45%.

关键词: 磁控溅射 , TiAlN涂层 , 结合强度

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