秦聪祥
,
曾鹏
,
胡社军
,
汝强
,
吴键
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.06.005
利用等离子体辅助电孤沉积技术制备了不同成分的TiAlSiN多元薄膜,并研究了Si含量对薄膜组织结构、显微硬度和耐磨性的影响.XRD物相分析表明:薄膜主要由AlN和TiN组成.随着膜层中Si含量的增加,薄膜的结构由明显的柱状晶转变为致密的玻璃态结构,显微硬度逐渐提高,耐磨性能得到明显改善.
关键词:
TiAlSiN
,
电弧沉积
,
显微硬度
,
耐磨性
黄曼
,
张济
,
王启钧
,
赵凯
,
张罡
材料保护
目前,对TiAlSiN薄膜在800℃以上的抗高温氧化性研究较少.通过磁控溅射优化工艺在W18Cr4V高速钢基体上制备不同Si含量的TiAlSiN硬质薄膜,针对硬度最高的典型薄膜试样[Si含量为16.49％(原子分数)],分别在800℃和1 000℃下进行保温1h的大气热处理.利用SEM、EDS、XR...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlSiN
,
W18Cr4V高速钢
,
大气热处理
,
抗高温氧化性
秦聪祥
,
曾鹏
,
胡社军
,
汝强
钛工业进展
doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2006.02.007
分别利用真空电弧沉积技术与等离子体辅助真空电弧沉积技术在不锈钢片、高速钢片和单晶硅片上沉积TiAlSiN多元薄膜,通过X射线衍射和扫描电镜对采用两种方法制备的薄膜物相及表面形貌进行了分析比较,测定了高速钢片上薄膜的显微硬度,进行了耐磨性实验.结果表明,采用离子束辅助沉积制备的薄膜,有(200)面的择...
关键词:
离子束辅助沉积
,
TiAlSiN
,
电弧离子镀
吴志立
,
李玉阁
,
吴彼
,
雷明凯
无机材料学报
doi:10.15541/jim20150096
采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5和0.67的TiAlSi合金靶,溅射功率1～4 kW,氮气分压25％,工作气压0.3 Pa,在Si(100)和AISI 304奥氏体不锈钢基片上沉积了TiAlSiN纳米复合涂层.TiAlSiN涂层中氮含量保持在52.0a...
关键词:
高功率调制脉冲磁控溅射
,
TiAlSiN纳米复合涂层
,
微结构
,
硬度
,
磨损
