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磁控溅射制备TiAlCrN硬质薄膜及其抗腐蚀性能

程立军 , 宋庆功

材料保护

采用反应磁控共溅射的方法,通过改变Cr靶溅射功率,在不锈钢基体上沉积不同Cr含量TiAlcrN薄膜.采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌;采用动电位极化试验研究薄膜的电化学腐蚀行为.结果表明:沉积的TiAlCrN薄膜表面平整、光滑、致密,无孔洞和突起等缺陷,晶粒细小,粗糙度低;TiAlcrN薄...

关键词: 反应磁控共溅射 , TiAlcrN薄膜 , 原子力显微镜 , 抗腐蚀性 , Cr含量