田灿鑫
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李助军
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刘怡飞
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杨兵
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付德君
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苏峰华
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.023
目的 在纯N2气氛环境下,低温制备TiBN纳米复合涂层,为TiBN涂层工业化生产积累科学数据.方法 采用离子源增强阴极电弧离子镀系统,在硬质合金衬底上制备TiBN纳米复合涂层,系统研究了N2气压对TiBN涂层晶体结构、表面形貌、硬度和耐磨性能的影响.结果 N2气压对TiBN纳米复合涂层的晶体结构、表面形貌、硬度及摩擦系数的影响明显.随着N2气压的升高,TiBN涂层中的TiN晶相逐渐增多,TiB2晶相逐渐减少,为TiN晶粒和TiB2晶粒镶嵌于非晶BN基体的复合结构.在0.5 Pa气压下,涂层硬度达3150HV.对于对磨材料硬质合金而言,TiBN涂层的摩擦系数为0.4左右.结论 离子源增强电弧离子镀技术可以用于TiBN涂层的制备,制备出的TiBN涂层为纳米晶镶嵌于非晶的纳米复合涂层,涂层的显微硬度较高.在TiBN纳米复合涂层的工业化生产中,沉积N2气压不宜偏高.
关键词:
离子源增强电弧离子镀
,
TiBN涂层
,
显微硬度
,
摩擦系数
