邵楠
,
梅芳华
,
董云杉
,
李戈扬
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.03.004
采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显的影响:低的甲烷分压下,制备的薄膜样品中有钛相的存在,薄膜的硬度和弹性模量较低;甲烷分压提高0.02～0.04Pa左右,薄膜内形成晶粒细小的单相TiC,并获得最高的硬度(30.9GPa)和弹性模量(343GPa);进一步提高甲烷分压,薄膜呈现非晶态,其硬度和弹性模量亦随之降低.
关键词:
TiC薄膜
,
反应磁控溅射
,
微结构
,
力学性能
刘洪喜
,
王浪平
,
王小峰
,
黄磊
,
汤宝寅
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2006.11.015
利用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了Ti-C薄膜.测试了合成薄膜后试样表面的化学组成、摩擦磨损性能、纳米硬度、弹性模量和滚动接触疲劳寿命,观察了疲劳破坏后试样断面的光学形貌.XRD结果表明处理后试样表面形成了TiC相.光学显微镜下疲劳裂纹的萌生和扩展形貌揭示出疲劳破坏可能存在表面点蚀和膜层剥离两种形式.在Hertz接触应力为5.1 GPa,90%置信区间条件下的疲劳寿命延长了5.5倍;最大微观硬度和弹性模量分别增加了28.4%和12.1%;相同磨损条件下的摩擦系数从0.95下降到0.15.
关键词:
轴承钢
,
离子注入
,
TiC薄膜
,
疲劳寿命
,
摩擦磨损性能
余宇楠
,
宋贵宏
,
沈波涛
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.03.008
在电弧离子镀技术沉积富碳TiC薄膜的过程中研究了不同乙炔流量对沉积膜的形貌、成分性能的影响.结果表明,利用电弧离子镀技术在铝合金衬底上能够成功的沉积出含有富碳的TiC膜层,并且沉积的薄膜与衬底的结合良好.实验表明,随沉积时乙炔流量的增大,膜层中C和Ti原子比逐渐增加,同时膜层成分由较纯的TiC结构的薄膜逐渐转变为含非晶碳的TiC膜层,在乙炔流量为50,100,150和200ml.min-1时,膜层的C和Ti的原子分数比分别为1∶1,9.5∶1.0,15∶1和19.4∶1.0.膜层中富余的碳是以非晶碳的形式存在的,TiC与非晶碳以一定量的配比使这层复合膜达到了较好的表面光洁度.
关键词:
电弧离子镀
,
TiC薄膜
,
非晶碳薄膜
