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  • 论文(3)

反应溅射TiC薄膜的微结构及力学性能

邵楠 , 梅芳华 , 董云杉 , 李戈扬

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.03.004

采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显...

关键词: TiC薄膜 , 反应磁控溅射 , 微结构 , 力学性能

TiC薄膜对轴承钢表面滚动接触疲劳寿命和力学性能的影响

刘洪喜 , 王浪平 , 王小峰 , 黄磊 , 汤宝寅

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2006.11.015

利用等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术在AISI52100轴承钢基体表面合成了Ti-C薄膜.测试了合成薄膜后试样表面的化学组成、摩擦磨损性能、纳米硬度、弹性模量和滚动接触疲劳寿命,观察了疲劳破坏后试样断面的光学形貌.XRD结果表明处理后试样表面形成了TiC相.光学显微镜下疲劳裂纹的萌...

关键词: 轴承钢 , 离子注入 , TiC薄膜 , 疲劳寿命 , 摩擦磨损性能

TiC/a-C:H薄膜的性能研究

余宇楠 , 宋贵宏 , 沈波涛

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2013.03.008

在电弧离子镀技术沉积富碳TiC薄膜的过程中研究了不同乙炔流量对沉积膜的形貌、成分性能的影响.结果表明,利用电弧离子镀技术在铝合金衬底上能够成功的沉积出含有富碳的TiC膜层,并且沉积的薄膜与衬底的结合良好.实验表明,随沉积时乙炔流量的增大,膜层中C和Ti原子比逐渐增加,同时膜层成分由较纯的TiC结构的...

关键词: 电弧离子镀 , TiC薄膜 , 非晶碳薄膜