邵楠
,
梅芳华
,
董云杉
,
李戈扬
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.03.004
采用反应磁控溅射法在不同的甲烷分压下制备了一系列的TiC薄膜,利用XRD和TEM表征了薄膜的相组成和微结构,用力学探针测量了薄膜的硬度和弹性模量,并利用AFM观察了薄膜的生长形貌和压痕形貌,研究了甲烷分压对薄膜相组成、微结构和力学性能的影响.结果表明,甲烷分压对薄膜的相组成、微结构和力学性能均有明显...
关键词:
TiC薄膜
,
反应磁控溅射
,
微结构
,
力学性能