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氮离子束辅助电弧离子镀对TiN膜层中金属"大颗粒"影响的研究

吕树国 , 刘常升 , 张罡 , 毕监智 , 金光 , 李玉海

钢铁研究学报

采用俄罗斯UVN 0.5D2I离子束辅助电弧离子镀沉积设备,在高速钢W18Cr4V基材上沉积TiN膜层.研究了N离子束轰击能量对膜层表面形貌、相结构、显微硬度的影响.结果表明:N离子束辅助轰击,能够有效地减少和降低膜层表面"大颗粒"的数量和尺寸,消除了膜层中较软Ti_2N相,得到了单一的TiN相.随...

关键词: 电弧离子镀 , TiN膜层 , 离子束 , 大颗粒