刘萌萌
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潘国峰
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白卫芹
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王其民
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.12.003
采用 sol-gel法,以钛酸丁酯、四氯化锡为前驱体制备了不同掺杂量的 SnO2-TiO2纳米粉末,样品经300,500,700和900℃退火后,利用浸渍提拉法,在Al2 O3陶瓷管表面制备了SnO2-TiO2厚膜。通过 XRD和SEM对制备的纳米粉末的物相、形貌进行表征,静态配气法对其气敏性能进行测试,并结合分子轨道理论探讨了气敏机理。实验结果表明,经700℃退火的4％(原子分数)掺杂的SnO2-TiO2气敏元件,对乙醇气体具有很好的选择性,在工作温度为63℃时,对乙醇气体的灵敏度可达1903,响应-恢复时间分别为1和3 s,所制备的气敏元件有望用于乙醇气体的实用化检测。
关键词:
sol-gel法
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气敏传感器
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TiO2厚膜
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掺杂量
