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TiO2种子层对Bi3.15Nd0.85Ti3O12铁电薄膜的结晶取向和铁电性能的影响

李佳 , 于军 , 彭刚 , 王耘波 , 周文利

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324x.2007.06.036

用sol-gel法分别制备了直接沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上和加入了TiO2种子层的Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNT)铁电薄膜,研究了种子层对BNT薄膜结构和电学性能的影响.XRD结果表明直接沉积在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BNT薄膜具有(117)和(001)的混合取向...

关键词: sol-gel , Bi3.15Nd0.85Ti3O12 , 铁电薄膜 , TiO2种子层