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磁控溅射法制备TiO2空穴缓冲层的有机发光器件

仲飞 , 刘彭义 , 任思雨

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.04.014

采用磁控溅射方法在ITO表面制备了不同厚度的TiO2超薄膜用做有机发光二极管(OLEDs)的空穴缓冲层,使OLEDs (ITO/ TiO2/ TPD/ Alq3 / Al)的发光性能得到很大改善.研究TiO2缓冲层厚度对器件性能影响的结果表明,当TiO2缓冲层厚度为1 nm,电流密度为100 mA/...

关键词: TiO2超薄膜 , 磁控溅射 , 有机发光二极管 , 空穴缓冲层