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  • 论文(15)

等离子合金化/热氧化复合技术制备光催化N掺杂TiO2薄膜

靳晓敏 , 高利珍 , 王鹤峰

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.04.005

目的 提高316 L不锈钢表面的光催化和亲水性能.方法 通过等离子表面合金化技术在316 L不锈钢表面制备结合良好的TiN薄膜,然后对TiN薄膜进行热氧化,得到N掺杂TiO2薄膜.利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜及紫外-可见分光光度仪对制备的N掺杂TiO2薄膜进行表征,并通过光催...

关键词: 等离子表面合金化 , 不锈钢 , TiO2薄膜 , N掺杂 , 光催化 , 亲水性 , 热氧化

掺杂Fe3+与La3+离子的TiO2薄膜光反应活性的研究

郑树凯

稀有金属材料与工程

利用溶胶-凝胶技术在载玻片衬底上制各了透明的TiO2薄膜.为了增强TiO2薄膜的光反应活性,对TiO2薄膜分别进行了不同浓度的Fe3+和La3+离子掺杂.离子掺杂的TiO2薄膜在可见光区有良好的透光性,通过降解罗丹明B染料溶液.评估了掺杂Fe3+和La3+离子的TiO2薄膜的光反应活性.结果表明,当...

关键词: LTiO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 离子掺杂 , 光反应活性

直流磁控反应溅射法制备工艺参数对TiO2薄膜光催化性能的影响

赵琳 , 何延春

人工晶体学报

采用直流磁控反应溅射法在未加热衬底上沉积TiO2薄膜,以紫外灯为光源进行了薄膜光催化降解亚甲基蓝溶液的实验,研究了沉积工艺参数和后处理退火温度对薄膜光催化性能的影响.结果表明:经过500℃退火、厚度较大的薄膜样品光催化效率较高;膜厚基本相同的样品,沉积时电源功率较小、Ar/O2流量比例较小的薄膜光催...

关键词: TiO2薄膜 , 磁控溅射 , 光催化 , 制备工艺参数

不同衬底上溅射TiO2薄膜的光学性能研究

叶剑 , 曹春斌

功能材料

在硅片和石英上利用射频溅射法沉积了TiO2薄膜,并分别在空气中进行了退火处理。利用椭偏光谱仪对硅片上薄膜进行了椭偏测试,利用紫外-可见分光光度计对石英上薄膜进行了透射光谱测试。利用解谱软件对椭偏谱和透射谱进行了建模解谱,获得了不同基片上薄膜在不同退火温度下的折射指数和消光系数,发现和TiO2块材的光...

关键词: 射频磁控溅射 , TiO2薄膜 , 椭圆偏振技术 , 光学性能

直流反应磁控溅射法制备二氧化钛薄膜的光响应

张利伟 , 张兵临 , 姚宁 , 樊志琴 , 杨仕娥 , 鲁占灵

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.042

采用直流反应磁控溅射的方法在镀有ITO的导电玻璃衬底上沉积了二氧化钛薄膜,分别用拉曼光谱和吸收光谱研究了薄膜的结构,通过光电流研究了二氧化钛薄膜的紫外光响应.在100s的时间内光电流能达到最大值的96%,当停止紫外光照射时,光电流在200s的时间内能恢复到暗电流,二氧化钛薄膜对紫外光的灵敏性和稳定的...

关键词: 直流反应磁控溅射 , 二氧化钛薄膜 , 光响应 , 光电流

DBD-CVD法制备掺氮二氧化钛薄膜及其结构性能

高倩 , 李喆 , 李铭 , 刘涌 , 宋晨路 , 韩高荣

材料科学与工程学报

采用介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD)法制备TiO2透明自清洁功能薄膜,选用四异丙醇钛(TTIP)、NH3作为反应先驱体,另外再加入一定量的N2、Ar或者He作为稀释气体控制气体的流量和流速。通过对其进行X射线衍射、紫外-可见光谱、X光电子能谱、场发射扫描电镜、光催化性质、光亲水性质等测试表...

关键词: TiO2薄膜 , 介质阻挡放电化学气相沉积(DBD-CVD) , 表面微观结构 , 掺N , 光催化性 , 亲水性

工艺参数对磁控溅射制备TiO2薄膜结晶性的影响

张盼盼 , 丁龙先 , 张帅拓

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.05.009

目的:探究TiO2薄膜结晶性与工艺参数之间的规律。方法采用直流反应磁控溅射法,改变工艺条件(样品位置、溅射功率、氧气分压、是否开转架、沉积温度以及是否退火),在普通载玻片基底上制备TiO2薄膜,并利用XRD和SEM对不同工艺参数下获得的TiO2薄膜进行分析。结果在靶基距固定的情况下,仅改变样品悬挂的...

关键词: 磁控溅射 , 工艺参数 , TiO2 薄膜 , 结晶性

磁控溅射制备纳米TiO2薄膜导电性的研究

顾广瑞 , 李英爱 , 陶艳春 , 何志 , 赵永年

无机材料学报

研究了在纳米厚度范围内,TiO2薄膜的导电性与薄膜厚度和基底材料的关系.利用射频磁控溅射方法,使用高纯Ti(99.99%)靶,通入Ar和O2的混合气体,制备了TiO2薄膜,薄膜膜厚15~225nm.在室温下测量了不同厚度TiO

关键词: TiO2薄膜 , conductivity , resistivity , transfer of electrons

溶胶-凝胶法制备TiO2薄膜光催化特性实验研究

代福 , 李宏业 , 李嘉琪 , 陈华亮

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.16.010

采用溶胶-凝胶实验方法,研究了TiO2薄膜厚度、退火温度及退火时间对薄膜晶相结构、表面形貌和光催化性能的影响.结果表明,TiO2薄膜光催化活性随着薄膜厚度的增加而增加,当薄膜厚度为3层时,光催化活性达到最大,层数超过3层时,薄膜的光催化活性随薄膜厚度的增加反而降低;当退火温度为550℃时,TiO2薄...

关键词: TiO2薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 旋涂法 , 光催化特性

退火温度对纳米TiO2薄膜的乙醇气敏特性的影响

潘国峰 , 何平 , 孙以材 , 高金雍

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.039

采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si(111)基片上制备纳米TiO2薄膜.首先将样品置于马孚炉中,分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理,然后利用XRD测定各退火条件下TiO2薄膜的晶粒尺寸和晶型,并对样品的气体敏感特性进行测试.实验结果表明:薄膜的结构、晶粒尺寸、晶...

关键词: TiO2薄膜 , 退火温度 , 乙醇气敏特性 , 灵敏度

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