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用于微波滤波器的Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜

阎少林 , 方兰 , 赵新杰 , 何明 , 路荣涛 , 路昕 , 周铁戈 , 贾颖新 , 王建伟

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.04.003

本文报导用磁控离子溅射和后热处理方法在LaAlO3(001)衬底上制作2英寸双面Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212) 超导薄膜的方法和薄膜的特性.XRD测试表明薄膜具有纯的Tl-2212相和c轴垂直于膜面的织构.衬底两侧薄膜的结晶形貌和超导电性均匀,超导转变温度Tc一般为105 K左右,液氮温度下临界电流密度Jc>2×106A/cm2,10GHz频率下表面电阻最小达到350μΩ,可满足超导微波滤波器实用的需要.

关键词: 超导薄膜 , Tl2Ba2CaCu2O8 , 表面电阻 , 微波滤波器

在MgO衬底上制作Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜

路昕 , 阎少林 , 赵新杰 , 方兰 , 何明 , 左涛 , 曾立山 , 周铁戈 , 路荣涛 , 陈国鋕

低温物理学报 doi:10.3969/j.issn.1000-3258.2005.04.004

在MgO衬底上,利用共蒸发方法制备DyBa2Cu3O7作为缓冲层,再利用磁控溅射和后处理方法,制备了Tl2Ba2CaCu2O8超导薄膜.X射线衍射θ~2θ及φ扫描结果表明Tl-2212薄膜、Dy-123薄膜与衬底MgO呈外延生长关系.制备的Tl-2212薄膜Tc=105.5K,液氮温度下临界电流密度Jc=2.5×106A/cm2.

关键词: 铊系高温超导薄膜 , Tl2Ba2CaCu2O8 , 缓冲层

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